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  • 製品番号: 研磨パッド
  • 製品の名称: f001
  • 売り出し時間: 2014-08-07
  • 回覧回数: 272

丸石系列研磨パッド
  「丸石」系列の研磨パッドは特殊な小穴発泡素材で製造され、ポリウレタン類、減衰布や不織布類に分けられ、高い平面度や平滑度が要求された場合に使用される。研磨パッドは硬度が適正で、穴が付け、適正な硬度によりパッドの安定的な平面性を保持し、様々な需要及び基板素材の平面加工や研磨加工に応じている。
主なサービス市場:
半導体基板
平面ガラス/LCD/FPD
精密光学
データベース
加工材料/応用範囲:
半導体基板/硅片
LED/液晶パネル
精密光学部品
データベース基盤
ディスクドライブ
典型的な製品:

製品品番

密度(g/cm3)

高度C

開口径(um)

圧縮率

充填物

特徴

用途

7355

0.34

58

65

74

減衰布

通用性が優れる

ブルーガラスの研磨

 

1900

0.37

65

65

64

減衰布

優れた平坦性

ブルーガラスの精密研磨

 

2900

0.35

67

25

60

減衰布

優れた平坦性

 

 

LP-66

0.40

78

 

 

ポリウレタン(CeO2)

 

精密光学、ガラスディスク

 

LP-57

0.32

88

 

 

ポリウレタン(ZrO2)

 

精密光学、半導体基盤

 

GR-35

0.58

89

 

 

ZrO2

 

液晶導電ガラス